X射線熒光光譜儀液態樣品經高效霧化器霧化后形成氣溶膠，氣溶膠在預混合霧化室中與燃氣充分混合均勻，再通過燃燒的熱量使進入火焰的試樣蒸發、熔融、分解成基態原子，基態原子被高性能空心陰極燈激發至高能態，處于高能態的原子不穩定，在去激發的過程中以光輻射的形式發射出原子熒光。原子熒光的強度與被測元素在樣品中的含量成正比，從而測定樣品中金的含量。
X射線熒光光譜儀經常使用時，如果不好好維護，還是容易出現故障的，其各個部件的維護方法如下：
1、火焰原子化器的維護火焰原子化器的維護與原子吸收分光光度計相同，要保證霧室的廢液暢通無阻，才能點火。點火的順序是先開啟助燃氣后開啟燃氣，熄滅的順序是先關閉燃氣，待火熄滅后再關閉助燃氣。如果發生“回火”事故，應迅速關閉燃氣，然后關閉助燃氣。
2、石墨爐原子化器的維護石墨爐原子化器的維護，主要為通冷卻水進行冷卻，避免把石墨爐原子化器燒壞。
3、空心陰極燈的維護不要用硬物撞擊空心陰極燈，換燈時，要穿戴紗手套；熱的燈管要防止被溶液濺射；一旦石英窗口被污染，要用脫脂棉蘸無水乙醇擦拭干凈。
4、供氣管道的維護與檢漏供氣管道要經常檢查、檢漏。如果發現管道老化發硬變黑，要及時更新；如果有漏氣現象應采取堵漏措施。
5、燃燒器的維護如果發現燃燒器的火焰分叉，應馬上熄滅火焰，采用刀片等適當工具把縫口的積鹽等污染物除去，或把燃燒器取下用水沖洗排除污物。
6、霧化器的金屬毛細管的維護與檢修當霧化器的金屬毛細管被堵塞時，可用洗耳球從出樣口吹氣，排除堵塞物，或用較軟的金屬細絲進行疏通。
7、ICP原子化器的維護ICP原子化器的各種炬管多為玻璃材料制成，容易破碎和堵塞，所以要小心使用，不要碰擊硬物或摔碎。如果被樣品殘留物堵塞，可以用酸洗或溶劑清洗。
