X射線熒光光譜儀液態(tài)樣品經(jīng)高效霧化器霧化后形成氣溶膠，氣溶膠在預(yù)混合霧化室中與燃?xì)獬浞只旌暇鶆颍偻ㄟ^燃燒的熱量使進(jìn)入火焰的試樣蒸發(fā)、熔融、分解成基態(tài)原子，基態(tài)原子被高性能空心陰極燈激發(fā)至高能態(tài)，處于高能態(tài)的原子不穩(wěn)定，在去激發(fā)的過程中以光輻射的形式發(fā)射出原子熒光。原子熒光的強(qiáng)度與被測(cè)元素在樣品中的含量成正比，從而測(cè)定樣品中金的含量。
X射線熒光光譜儀經(jīng)常使用時(shí)，如果不好好維護(hù)，還是容易出現(xiàn)故障的，其各個(gè)部件的維護(hù)方法如下：
1、火焰原子化器的維護(hù)火焰原子化器的維護(hù)與原子吸收分光光度計(jì)相同，要保證霧室的廢液暢通無阻，才能點(diǎn)火。點(diǎn)火的順序是先開啟助燃?xì)夂箝_啟燃?xì)猓绲捻樞蚴窍汝P(guān)閉燃?xì)猓鹣绾笤訇P(guān)閉助燃?xì)狻Ｈ绻l(fā)生“回火”事故，應(yīng)迅速關(guān)閉燃?xì)猓缓箨P(guān)閉助燃?xì)狻?br />
2、石墨爐原子化器的維護(hù)石墨爐原子化器的維護(hù)，主要為通冷卻水進(jìn)行冷卻，避免把石墨爐原子化器燒壞。
3、空心陰極燈的維護(hù)不要用硬物撞擊空心陰極燈，換燈時(shí)，要穿戴紗手套；熱的燈管要防止被溶液濺射；一旦石英窗口被污染，要用脫脂棉蘸無水乙醇擦拭干凈。
4、供氣管道的維護(hù)與檢漏供氣管道要經(jīng)常檢查、檢漏。如果發(fā)現(xiàn)管道老化發(fā)硬變黑，要及時(shí)更新；如果有漏氣現(xiàn)象應(yīng)采取堵漏措施。
5、燃燒器的維護(hù)如果發(fā)現(xiàn)燃燒器的火焰分叉，應(yīng)馬上熄滅火焰，采用刀片等適當(dāng)工具把縫口的積鹽等污染物除去，或把燃燒器取下用水沖洗排除污物。
6、霧化器的金屬毛細(xì)管的維護(hù)與檢修當(dāng)霧化器的金屬毛細(xì)管被堵塞時(shí)，可用洗耳球從出樣口吹氣，排除堵塞物，或用較軟的金屬細(xì)絲進(jìn)行疏通。
7、ICP原子化器的維護(hù)ICP原子化器的各種炬管多為玻璃材料制成，容易破碎和堵塞，所以要小心使用，不要碰擊硬物或摔碎。如果被樣品殘留物堵塞，可以用酸洗或溶劑清洗。
