X射線熒光光譜儀是一種分析物質組成和結構的實驗儀器。它利用X射線激發樣品中原子的內層電子躍遷，導致外層電子填補內層空位并發出熒光輻射的現象，通過測量這些熒光輻射的能量和強度來確定樣品中不同元素的存在及其相對含量。它可以對物質進行非破壞性的分析。它通過對物質中X射線的激發產生的熒光信號進行測量，來確認物質中的成分和含量。
X射線熒光光譜儀的主要部件包括X射線管、樣品臺、能量分析器等。X射線管是產生X射線的主要部件，它由陽極和陰極組成，當高壓電施加到陽極和陰極之間時，陰極會發射電子撞擊陽極產生X射線。樣品臺是支撐樣品的平臺，可以使樣品與X射線束垂直或成一定角度。能量分析器是用來分析熒光輻射的能量和強度的部件，其主要由晶體、色散器和探測器組成。晶體可以將熒光輻射分散成不同的能量，色散器可以篩選出所要分析的元素的熒光輻射，探測器則可以將熒光輻射轉換為電信號。
X熒光光譜儀主要由激發源( X射線管)和探測系統構成。其原理就是: X射線管通過產生入射X射線(一次X射線) , 來激發被測樣品。受激發的樣品中的每一 種元素會放射出二次X射線(又叫X熒光) , 并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量或者波長。然后,儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。元素的原子受到高能輻射激發而引 |起內層電子的躍遷,同時發射出具有一定特殊性波長的X射線 ,因此，只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類,這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度 與相應元素的含量有一定的關系,據此，可以進行元素定分析。用X射線照射試樣時,試樣可以被激發出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長(或能量)分開,分別測量不同波長(或能量)的X射線的強度,以進行定性和定量分析,為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。由于X熒光具有一定波長,同時又有一定能量，因此, X射線熒光光譜儀有兩種基本類型:波長色散型和能量色散型。
